[实用新型]一种抗PID槽体装置

摘要

本实用新型公开了一种抗PID槽体装置，包括臭氧槽，所述臭氧槽的外部设置有臭氧发生器，所述臭氧槽的内部设置有用于传输硅片的传输滚轮，所述传输滚轮的上方设置有臭氧喷淋板，所述臭氧喷淋板连接所述臭氧发生器；所述传输滚轮的下方正对所述臭氧喷淋板的位置处设置有臭氧收集框，所述臭氧收集框连接有第一臭氧管路；所述臭氧喷淋板的上方设置有能够将所述臭氧喷淋板与所述传输滚轮罩在其下方的隔离罩，所述隔离罩的顶部连接有第二臭氧管路；所述第一臭氧管路和所述第二臭氧管路均连接外部抽风装置；其能够有效、集中地抽掉溢出的臭氧，从而避免臭氧溢出到其他槽体或环境中。

主权项

一种抗PID槽体装置，包括臭氧槽(2)，所述臭氧槽(2)的外部设置有臭氧发生器(1)，所述臭氧槽(2)的内部设置有用于传输硅片的传输滚轮(4)，所述传输滚轮(4)的上方设置有臭氧喷淋板(3)，所述臭氧喷淋板(3)连接所述臭氧发生器(1)；其特征在于，所述传输滚轮(4)的下方正对所述臭氧喷淋板(3)的位置处设置有臭氧收集框(5)，所述臭氧收集框(5)连接有第一臭氧管路(6)；所述臭氧喷淋板(3)的上方设置有能够将所述臭氧喷淋板(3)与所述传输滚轮(4)罩在其下方的隔离罩(7)，所述隔离罩(7)的顶部连接有第二臭氧管路(8)；所述第一臭氧管路(6)和所述第二臭氧管路(8)均连接外部抽风装置。