[实用新型]一种晶圆清洗装置

摘要

本实用新型的晶圆清洗装置，包括旋转盘、驱动机构、旋转轴、多个喷嘴以及多条输送管路，其中旋转盘上设置有晶圆固定支架，晶圆固定支架用于将晶圆水平固定于旋转盘上；驱动机构具有输出端，输出端通过旋转轴连接至旋转盘的中心，以带动旋转盘以及固定于旋转盘上的晶圆做旋转运动；多个喷嘴包含向晶圆的中心区域喷射清洗液体的第一喷嘴，以及向晶圆的侧边区域喷射清洗液体的第二喷嘴；多条输送管路包含分别为第一喷嘴和第二喷嘴提供清洗液体的第一输送管路和第二输送管路。本实用新型从原氢氟酸管路中引出支流直接清洗晶侧，在无需延长清洗时间的情况下确保了晶侧的清洁度，既提高了效率又降低了生产成本。

主权项

一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括旋转盘、驱动机构、旋转轴、多个喷嘴以及多条输送管路，其中所述旋转盘上设置有晶圆固定支架，所述晶圆固定支架用于将晶圆水平固定于所述旋转盘上；所述驱动机构具有输出端，所述输出端通过所述旋转轴连接至所述旋转盘的中心，以带动所述旋转盘以及固定于所述旋转盘上的所述晶圆以所述旋转盘的中心为圆心做旋转运动；所述多个喷嘴包含向所述晶圆的中心区域喷射清洗液体的第一喷嘴，以及向所述晶圆的侧边区域喷射所述清洗液体的第二喷嘴；所述多条输送管路包含分别为所述第一喷嘴和所述第二喷嘴提供所述清洗液体的第一输送管路和第二输送管路。