[实用新型]金属手机外壳的真空镀膜装置

摘要

本实用新型涉及镀膜装置技术领域，特指金属手机外壳的真空镀膜装置，包括有真空室、旋转台、气体捕集器、智能控制器、压力调节组件，旋转台上设有内溅射靶和内圈加热器，真空室的内侧壁上设有与内溅射靶对应的外溅射靶和外圈加热器，本实用新型利用气体捕集器可以加快抽真空的速率，可以有效去除杂质气体，使真空度达到更低的水平，并且真空室内设有压力传感器、温度传感器，气体捕集器、内圈加热器、外圈加热器、压力传感器、温度传感器、压力调节组件分别与智能控制器电连接形成闭环智能控制系统，能够自动控制真空室内的温度和压力，精度高，提高产品镀膜的质量。

主权项

金属手机外壳的真空镀膜装置，其特征在于：包括有真空室(1)、转动设置在真空室(1)内腔底部的旋转台(2)、设置在真空室(1)中央的气体捕集器(3)、设置在真空室(1)外部的智能控制器(4)、用于控制真空室(1)内部压力的压力调节组件，旋转台(2)上设有内溅射靶(5)和内圈加热器(6)，真空室(1)的内侧壁上设有与内溅射靶(5)对应的外溅射靶(7)和外圈加热器(8)，真空室(1)内设有压力传感器(9)、温度传感器(10)，压力调节组件包括有与真空室(1)连通的压力调节管路(11)、压力控制阀(12)、截止阀(13)和真空泵(14)，压力控制阀(12)、截止阀(13)和真空泵(14)依次连接在压力调节管路(11)上，气体捕集器(3)、内圈加热器(6)、外圈加热器(8)、压力传感器(9)、温度传感器(10)、压力控制阀(12)、截止阀(13)和真空泵(14)分别与智能控制器(4)电连接。