[实用新型]一种坩埚模具有效
| 申请号： | 201620104639.9 | 申请日： | 2016-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN205529024U | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 王彩华;刘汝强;宋琪;邓水波;王之腾 | 申请（专利权）人： | 山东国晶新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/34;C23C16/52 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 张宏松 |
| 地址： | 251200 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种坩埚模具，尤其涉及沉积热解氮化硼的模具，属于化学气相沉积技术领域，装置包括模具本体，模具本体为圆柱体，模具本体顶部设有支柱，支柱与吊装头相连，模具本体底部倒圆角，模具本体顶部设有凸台。通过增加一个凸台有效分散了有机EL坩埚壁的应力，提高了坩埚壁的强度，使用过程中不易分层、不易开裂，极大的延长了坩埚的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 模具 | ||
【主权项】：
一种坩埚模具，包括模具本体，其特征在于，所述模具本体为圆柱体，模具本体顶部设有支柱，支柱与吊装头相连，模具本体底部倒圆角，模具本体顶部设有凸台。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
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