[实用新型]一种真空镀膜装置有效
申请号: | 201620047367.3 | 申请日: | 2016-01-19 |
公开(公告)号: | CN205501400U | 公开(公告)日: | 2016-08-24 |
发明(设计)人: | 刘玉杰 | 申请(专利权)人: | 天津涂冠科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 300000 天津市津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 一种真空镀膜装置,包括壳体,所述壳体内的顶部设有中心轴,所述中心轴下方设有工件放置架,所述工件放置架包括四块放置板,所述放置板呈圆周布置在中心轴上,所述放置板上设有若干放置槽,所述放置槽两侧分别设有滑移槽,所述滑移槽内设有滑移板,所述滑移槽与滑移板活动连接;所述壳体内还设有四块隔板,所述隔板在壳体内呈圆周布置,且与放置板呈交错设置。本实用新型的有益效果是结构设计合理,使用方便,当将工件放入放置槽内,根据尺寸的大小调节放置槽底部的滑移板的位置,这样可以适用不同尺寸的工件,节约资源;蒸发源内可以放置不同的材料,这样就可以实现同时镀膜,隔板避免了蒸发源的相互污染。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】:
一种真空镀膜装置,包括壳体,其特征在于,所述壳体内的顶部设有中心轴,所述中心轴下方设有工件放置架,所述工件放置架包括四块放置板,所述放置板呈圆周布置在中心轴上,所述放置板上设有若干放置槽,所述放置槽两侧分别设有滑移槽,所述滑移槽内设有滑移板,所述滑移槽与滑移板活动连接;所述壳体内还设有四块隔板,所述隔板在壳体内呈圆周布置,且与放置板呈交错设置。
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