[发明专利]吸附式测试装置在审

专利信息
申请号: 201611257843.5 申请日: 2016-12-30
公开(公告)号: CN108279367A 公开(公告)日: 2018-07-13
发明(设计)人: 王啟书;郑柏凱 申请(专利权)人: 致茂电子(苏州)有限公司
主分类号: G01R31/26 分类号: G01R31/26
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 梁挥;祁建国
地址: 215011 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种吸附式测试装置,包含一承载台、至少一密封件以及一抽气管路。承载台具有一承载面。密封件设置于承载面,且密封件包含一体成型的一第一密封部以及二第二密封部。第一密封部于承载面围绕出一吸附区,并且二第二密封部位于吸附区。第一密封部与二第二密封部共同将吸附区区分成二第一吸附范围和一第二吸附范围。抽气管路设置于承载台,且抽气管路具有一负压源连接口、二第一吸气口以及一第二吸气口。二第一吸气口分别连接于二第一吸附范围。第二吸气口连接于第二吸附范围,且负压源连接口连接于二第一吸气口与第二吸气口。
搜索关键词: 吸气口 密封部 吸附 抽气管路 承载面 承载台 密封件 负压源连接口 测试装置 吸附区 吸附式 一体成型的 密封部位
【主权项】:
1.一种吸附式测试装置,其特征在于,包含:一承载台,具有一承载面;至少一密封件,设置于该承载面,该至少一密封件包含一体成型的一第一密封部以及二第二密封部,该第一密封部于该承载面围绕出一吸附区,该二第二密封部位于该吸附区,该第一密封部与该二第二密封部共同将该吸附区区分成二第一吸附范围和一第二吸附范围;以及一抽气管路,设置于该承载台,该抽气管路具有一负压源连接口、二第一吸气口以及一第二吸气口,该二第一吸气口分别连接于该二第一吸附范围,该第二吸气口连接于该第二吸附范围,且该负压源连接口连接于该二第一吸气口与该第二吸气口。
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