[发明专利]一种太阳能电池硅片刻蚀用水膜溶液及其应用

摘要

本发明属于太阳能电池技术领域，特别涉及一种太阳能电池硅片刻蚀用水膜溶液及其应用。本发明提供了一种太阳能电池硅片刻蚀用水膜溶液，该水膜溶液为葡萄糖和双氟磺酰亚胺盐分散于水中所形成，采用上述水膜溶液在硅片的扩散面(正面)上形成保护层，再进入刻蚀槽刻蚀背面和边缘的PN结，这样能够抑制刻蚀液中挥发的酸在水膜中的重新溶解，从而减小对扩散面(正表面)PSG和PN结的破坏。

主权项

一种太阳能电池硅片刻蚀用水膜溶液，其特征在于：所述的水膜溶液为葡萄糖和双氟磺酰亚胺盐分散于水中所形成，所述的葡萄糖在水膜溶液中的含量为1.5～4.0g/L，所述的双氟磺酰亚胺盐为双氟磺酰亚胺钠或双氟磺酰亚胺锂，其在水膜溶液中的含量为0.1～0.35mol/L。