[发明专利]一种IBC电池的制备方法

摘要

本发明公开了一种IBC电池的制备方法，涉及太阳能电池技术领域；包括：N型硅片双面制绒；N型硅片的背光面磷硅玻璃的沉积；在已经沉积磷硅玻璃的一面进行磷掺杂推进；并同时在磷掺杂区域形成一层损伤层；清洗，去除硅片表面除损伤层外的磷硅玻璃层；硅片背光面实行高温硼扩散，在硅片背面形成梳状交叉分布的N型扩散区域和P型扩散区域；去除硅片表面损伤层及硼硅玻璃层；在硅片正反表面沉积钝化减反层；在硅片背光面P型区和N型区丝网印刷金属栅线，经烘干、烧结后形成IBC电池；只经过硼扩散一步的高温过程，同时形成磷掺杂区域及损伤层，降低了工艺难度，减少了过多的高温工艺对硅片的不利影响。

主权项

1.一种IBC电池的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：A:N型硅片(1)双面制绒；B：将N型硅片(1)的背面抛光，并进行磷硅玻璃(2)的沉积；C：在已经沉积磷硅玻璃(2)的一面的需要掺磷区域进行磷掺杂激光推进形成磷掺杂区域(3)；并同时在磷掺杂区域(3)形成一层损伤层(4)，所述损伤层(4)厚度为1‑5微米；D：经化学清洗，去除硅片(1)表面除损伤层(4)外的磷硅玻璃层；E：对硅片(1)背光面实行高温硼扩散工艺，形成硼掺杂区域(5)，损伤层(4)能够阻挡硼原子的扩散，从而在硅片(1)背面形成梳状交叉分布的N型扩散区域和P型扩散区域，同时硼扩散中的后氧化工艺，能够在硅片(1)表面形成一层硼硅玻璃层；F：经化学清洗，去除硅片(1)表面损伤层(4)及硼硅玻璃层；G：在硅片(1)正反表面沉积一层钝化减反层(6)；H：在硅片(1)背光面P型区和N型区丝网印刷金属栅线(7)，经烘干、烧结后形成IBC电池成品。