[发明专利]一种硫化氢检测传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及传感器领域内的一种硫化氢检测传感器及其制造方法，传感器包括相互粘接的上层基板和下层基板；上层基板上设有若干贯穿上层基板的蜂窝孔，上层基板的上表面喷涂有Na₃Zr₂Si₂PO₁₂材料形成的喷涂层，喷涂层上表面嵌装有金丝网，金丝网的一侧上方设有条状Au参考电极，金丝网的另一侧上方设有条状的工作电极，金丝网与参考电极之间、金丝网与工作电极之间分别向基板外侧引出Pt引线，工作电极由CoNi_0.6Cr_0.8Mn_1.6O₅材料喷涂在金丝网上而制成。该传感器响应速快快，检测准确性好，且具有抗干扰效果。

主权项

1.一种硫化氢检测传感器的制造方法，其特征在于包括如下步骤：1）将Na₃Zr₂Si₂PO₁₂材料制成的粉末与2‑(4‑甲基‑3‑环己烯基)‑2‑丙醇混合成糊状，喷涂在上层基板上，并填满蜂窝孔；所述蜂窝孔设有若干并贯穿上层基板设置，蜂窝孔的孔径为0.1~0.25mm；2）在上层基板上嵌装金丝网，保持金丝网的上表面高出所述喷涂层；3）于850~880℃下烧结2~3小时；4）在金丝网两侧分别引出Pt引线，然后在金丝网一侧涂覆金浆，形成参考电极；在金丝网另一侧喷涂CoNi_0.6Cr_0.8Mn_1.6O₅浆料，形成工作电极；金浆及CoNi_0.6Cr_0.8Mn_1.6O₅浆料均由相应粉末材料与乙二醇混合调配而成；每次涂覆和喷涂后均放入红外灯下干燥后，再涂覆和喷涂下一层，直到所述参考电极的宽度为0.65~0.85mm，厚度为45~60μm；工作电极的宽度为2.0~2.5mm，厚度为90~120μm；5）于600~650℃下烧结4~6小时后取出；6）配制粘合剂，将Al₂O₃、Na₂SiO₃和去离子水按照1：(3~5)：（10~15）的比例混合均匀，Na₂SiO₃采用Na₂SiO₃•9H₂O作为原料，其中的结晶水换算成去离子水进行计量；8）以粘合剂涂覆在上层基板和下层基板之间，再将上层基板和下层基板粘接在一起；7）在CO₂环境下，于160~250℃保温4~5小时，使上层基板与下层基板粘接牢固；8）将电热丝安装在下层基板的凹槽内。