[发明专利]基于三个或更多个状态的功率和频率的调节

摘要

本发明涉及基于三个或更多个状态的功率和频率的调节，具体描述了用于根据三个或更多个状态调节功率和频率的系统和方法。所述方法中的一个包括：接收具有多个状态的脉冲信号。通过多个射频(RF)产生器接收所述脉冲信号。当接收到具有第一状态的所述脉冲信号时，由第一RF产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号以及由第二RF产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。此外，当接收到具有第二状态的所述脉冲信号时，由所述第一和第二射频产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。此外，当接收到具有第三状态的所述脉冲信号时，由所述第一和第二射频产生器产生具有预先设定的功率电平的RF信号。

主权项

1.一种等离子体处理系统，其被配置用于使用多个状态的操作，所述等离子体系统包括：主射频(RF)产生器，其用于接收脉冲信号，所述脉冲信号具有三个或更多个状态，所述三个或更多个状态包括第一状态、第二状态和第三状态，所述主射频产生器经由阻抗匹配电路耦合到等离子体室，从射频产生器，其用于接收所述脉冲信号，所述从射频产生器经由所述阻抗匹配电路耦合到所述等离子体室，所述主射频产生器和所述从射频产生器中的每个被配置为判定所述脉冲信号是否处于所述第一状态或所述第二状态或所述第三状态，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将具有第一主量化电平的第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第一状态的判定将具有第一从量化电平的第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将具有第二主量化电平的所述第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第二状态的判定将具有第二从量化电平的所述第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述主射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第三状态的判定将具有第三主量化电平的所述第一射频信号提供给所述阻抗匹配电路，所述从射频产生器被配置为响应于所述脉冲信号处于所述第三状态的判定将具有第三从量化电平的所述第二射频信号提供给所述阻抗匹配电路。