[发明专利]基于石墨烯的位置灵敏光探测器

摘要

本发明提供了一种基于石墨烯的位置灵敏探测器，所述的探测器器包括Si/SiO2衬底、设在Si/SiO2衬底上的石墨烯和设在石墨烯上的金属电极；所述的Si/SiO2衬底由底部的Si和Si上方的SiO2组成；所述的Si是轻掺杂Si衬底，其掺杂浓度范围为1014‑1016 cm‑3，电阻率为1‑100Ωcm；所述的SiO2的厚度为50‑500nm；所述的石墨烯是单层、双层或3‑10层的少层石墨烯；所述的金属电极为金、镍或铂。本发明的有益效果如下基于本发明所获得的基于石墨烯的位置灵敏探测器，可以解决现有位置灵敏探测器探测微弱光的问题。

主权项

一种基于石墨烯的位置灵敏探测器，其特征在于，所述的探测器器包括Si/SiO2衬底、设在Si/SiO2衬底上的石墨烯和设在石墨烯上的金属电极；所述的Si/SiO2衬底由底部的Si和Si上方的SiO2组成；所述的Si是轻掺杂Si衬底，其电阻率为1‑100Ωcm；所述的SiO2的厚度为50‑500nm；所述的石墨烯是单层、双层或3‑10层的少层石墨烯；所述的金属电极为金、镍或铂。