[发明专利]一种薄膜折射率获取方法及装置

摘要

本发明涉及一种薄膜折射率获取方法及装置，属于太阳能电池技术领域。所述方法应用于PECVD镀膜工艺中，所述方法包括：根据至少一个预设镀膜参数获得所述至少一个预设镀膜参数中的每个预设镀膜参数在辉光时的电压参数；根据电压与折射率对照表获得每个电压参数对应的折射率；根据获得的每个折射率和每个折射率相对应的预设镀膜参数占总镀膜参数的时间占比，利用折射率公式获得薄膜的总折射率，其中，所述总镀膜参数为所有的预设镀膜参数的总和。该方法可以提前预知薄膜的折射率情况，能及时发现问题，早做调整，具有监控的及时性，从而生产出的薄膜可以提高电池的转化效率。

主权项

1.一种薄膜折射率获取方法，其特征在于，所述方法应用于PECVD镀膜工艺中，所述方法包括：根据至少一个预设镀膜参数获得所述至少一个预设镀膜参数中的每个预设镀膜参数在辉光时的电压参数；根据电压与折射率对照表获得每个电压参数对应的折射率；根据获得的每个折射率和每个折射率相对应的预设镀膜参数占总镀膜参数的时间占比，利用折射率公式获得薄膜的总折射率，其中，所述总镀膜参数为所有的预设镀膜参数的总和。