[发明专利]一种COA基板的制备方法在审
| 申请号： | 201611216356.4 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN106773246A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 李兰艳 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335 |
| 代理公司： | 北京聿宏知识产权代理有限公司11372 | 代理人： | 吴大建 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种COA基板的制备方法，包括以下步骤包括以下步骤1)提供衬底基板，并在所述基板上提供金属层；2)在所述金属层之上设置第一保护层；3)在所述第一保护层上设置彩色光阻层；4)在所述彩色光阻层上设置PFA制备保护层，其中所述PFA保护层由白色光阻、平坦保护层和支撑柱组成；5)设置金属ITO导电层。本发明通过在彩色光阻层上涂上同时具有通用光阻材料，通过一次曝光显影的方式形成白色光阻、平坦保护层和支撑柱，然后再制备ITO导电层，结合白色光阻、平坦保护层和支撑柱三道黄光制程于一道，节省了两道黄光制程工艺，工艺过程简单，最大限度的提高了生产的产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 coa 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种COA基板的制备方法，包括以下步骤：1)提供衬底基板，并在所述衬底基板上提供金属层；2)在所述金属层之上设置第一保护层；3)在所述第一保护层上设置彩色光阻层；4)在所述彩色光阻层上设置PFA保护层，其中所述PFA保护层由白色光阻、平坦保护层和支撑柱组成；5)设置金属ITO导电层。
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