[发明专利]一种石墨烯透明电极金刚石基紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种石墨烯透明电极金刚石基紫外探测器及其制备方法，探测器从下至上至少包含绝缘衬底、金刚石紫外敏感层、透明石墨烯层和金属电极；金刚石紫外敏感层的表面处形成金刚石表面终端；所述透明石墨烯层设置于金刚石紫外敏感层的金刚石表面终端上；所述金刚石紫外敏感层中均布有若干三维结构。本发明结构利用石墨烯超高的面内电导特性和其对紫外光的全透过特性，以及三维结构金刚石紫外敏感层对紫外光入射增强的特性，提高了金刚石基紫外探测器的响应度及外量子效率。

主权项

一种石墨烯透明电极金刚石基紫外探测器，其特征在于，从下至上至少包含绝缘衬底(1)、金刚石紫外敏感层(2)、透明石墨烯层(4)和金属电极(5)；金刚石紫外敏感层(2)的表面处形成金刚石表面终端(3)；所述透明石墨烯层(4)设置于金刚石紫外敏感层(2)的金刚石表面终端(3)上；所述金刚石紫外敏感层中均布有若干三维结构；所述若干三维结构为周期性的凸起或凹槽；所述凸起或凹槽截面形状为三角形、圆形或方形；边长或直径为0.1‑50微米，间距为0.1‑50微米，高度为0.1‑5微米；所述透明石墨烯层为单层或多层石墨烯结构，其覆盖在金刚石紫外敏感层上，与金刚石表面终端紧密接触。