[发明专利]一种硅微针基板及其制备方法在审
| 申请号： | 201611176719.6 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN106730309A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 郭文平;赵科研;许南发 | 申请（专利权）人： | 山东元旭光电股份有限公司 |
| 主分类号： | A61M37/00 | 分类号： | A61M37/00;C09K13/02;C09K13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 261000 山东省潍坊市高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅微针基板及其制备方法，硅微针制备方法包括硅基板清洗，硅基板保护膜，光刻，图形转移和湿法刻蚀硅基板步骤。硅基板净化后，在硅基板的两面生长二氧化硅膜，然后在二氧化硅膜上面遮盖上带有实体图形的掩膜板，经过光刻、曝光等将掩膜板上的实体图形转移到二氧化硅膜上，再利用湿法刻蚀硅基板制得针尖和针体，然后用BOE腐蚀去掉多余的二氧化硅膜得到硅微针基板。本发明工艺简单，仅需湿法刻蚀便可制得所需硅微针，避免了干法刻蚀带来的环境污染和大量资金使用，经济实惠，所制硅微针耐用性好，特别适合用于美容、医疗器械和生物医疗领域，尤其是透皮给药的异平面硅微针基板的制备，适合于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅微针基板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硅微针基板，其特征在于，包括硅基板，所述硅基板上设有硅微针，所述硅微针是利用湿法腐蚀腐蚀所述硅基板得到的硅微针图形制成，所述硅微针呈两段式分布，所述硅微针下段呈多角锥状，所述硅微针上段为棱锥状结构。
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