[发明专利]一种具有优良环境稳定性的氧化锌透明导电材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201611175322.5 | 申请日： | 2016-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN108203807B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 杨晔;朱超挺;兰品军;宋伟杰;朱永明 | 申请（专利权）人： | 宁波森利电子材料有限公司;中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海一平知识产权代理有限公司 31266 | 代理人： | 马莉华;陆凤 |
| 地址： | 315176 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有优良环境稳定性的氧化锌透明导电材料及其制备方法。具体地，本发明公开了一种氧化锌薄膜的制备方法，所述方法包括如下步骤：1)提供经掺杂的氧化锌基靶材；2)将所述经掺杂的氧化锌基靶材置于磁控溅射设备中，抽真空达到第一压力；3)通入第一气体和第二气体的混合气体，直至腔体内部达到第二压力；4)在基片上使用所述经掺杂的氧化锌基靶材进行磁控溅射制膜，得到所述氧化锌薄膜。本发明还公开了以所述制备方法制得的氧化锌薄膜及其应用。所述氧化锌薄膜兼具优异光电特性和环境稳定性，因此可广泛应用于各种场合。所述制备方法具有工艺简单、成本低、可直接在现有设备上实施的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 优良 环境 稳定性 氧化锌 透明 导电 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：1)提供经掺杂的氧化锌基靶材；2)将所述经掺杂的氧化锌基靶材置于磁控溅射设备中，抽真空达到第一压力；3)通入第一气体和第二气体的混合气体，直至腔体内部达到第二压力；4)在基片上使用所述经掺杂的氧化锌基靶材进行磁控溅射制膜，得到所述氧化锌薄膜。
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