[发明专利]一种显微可视化抽运探测热反射系统

摘要

本发明提供了一种显微可视化抽运探测热反射系统，脉冲激光器发出的线偏振激光分别经第一光路和第二光路到达电控冷光镜，激光束一与激光束二汇合后由样品反射，激光束二经第三光路后由分束镜分为激光束三和激光束四，激光束三到达光电探测器与锁相放大器，激光束四到达数字摄像机。本发明通过计算机识别出数字摄像机拍摄图像中的抽运与探测光斑，控制电控冷光镜发生角度偏转，改变抽运光斑的位置，使抽运与探测光斑精确重合，可以消除由于环境温度变化，光学元件应力以振动引起的光斑重合度降低问题，自动化程度高，控制精度大为提高，通过该系统可以实时观察样品表面的微观结构，实现测量位置的精密控制和微观结构热导率的精密测量。

主权项

一种显微可视化抽运探测热反射系统，其特征在于，脉冲激光器发出的线偏振激光经过第一1/2波片后由第一偏振分光棱镜分为两束，分别为激光束一和激光束二；激光束一通过第一偏振分光棱镜沿原线偏振激光传输方向继续传输，依次经过激光倍频模块、短波通滤光片、激光调制器、短波反射镜后到达电控冷光镜；激光束二依次经过长波反射镜、直角反射镜、第二1/2波片、第二偏振分光棱镜、1/4波片后到达电控冷光镜；激光束一与激光束二汇合后经过物镜到达样品固定架，激光束二经过样品固定架上的样品反射后依次通过物镜、电控冷光镜、1/4波片、第二偏振分光棱镜、凸透镜后由分束镜分为两束，分别为激光束三和激光束四；激光束三到达光电探测器，光电探测器与锁相放大器连接；激光束四到达数字摄像机，数字摄像机与计算机连接。