[发明专利]气体供给用歧管及其制造方法

摘要

本发明提供气体供给用歧管及其制造方法。气体供给用歧管(A)包括：喷嘴形成构件(2)，其设有多个气体喷出喷嘴(25)；盖构件(1)，其重叠于该喷嘴形成构件；以及铆接紧固部(C)，其紧固喷嘴形成构件和盖构件，该铆接紧固部为这样的结构：将设于所述喷嘴形成构件和所述盖构件中的一者的凸部(20)贯通被设于另一者的孔部(10)，并且，在该凸部的顶端部形成有直径大于所述孔部的直径或宽度大于所述孔部的宽度、并与所述孔部的周缘部卡合的卡合部(22)。在所述凸部的顶端面设有通过向所述凸部的基部侧按压该顶端面而形成的凹陷部(21)，该凹陷部的周围的区域为所述卡合部。由此，能够恰当地铆接紧固喷嘴形成构件和盖构件。

主权项

一种气体供给用歧管，其中，该气体供给用歧管包括：喷嘴形成构件，在该喷嘴形成构件上设有多个气体喷出喷嘴；盖构件，其重叠于该喷嘴形成构件，并且，用于在其与所述喷嘴形成构件之间形成与所述多个气体喷出喷嘴连通的气体供给流路；以及至少一个铆接紧固部，其紧固所述喷嘴形成构件和所述盖构件，所述铆接紧固部为这样的结构：设于所述喷嘴形成构件和所述盖构件中的一者的凸部贯通被设于另一者的孔部且所述凸部的顶端部自该孔部突出，并且，在该凸部的顶端部形成有与所述孔部的周缘部卡合的卡合部，该卡合部的直径大于所述孔部的直径，或该卡合部的宽度大于所述孔部的宽度，在所述凸部的顶端面设有通过向所述凸部的基部侧按压该顶端面而形成的凹陷部，并且，所述凸部的、所述凹陷部的周围的区域为所述卡合部。