[发明专利]长寿命靶材组件及其形成方法在审
| 申请号： | 201611153514.6 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108220891A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;刘霞 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种长寿命靶材组件及其形成方法，其中靶材组件包括：靶材，所述靶材具有相对的溅射面和第一表面，所述溅射面为平面，所述溅射面到第一表面具有第一距离；背板，所述背板具有相对的第二表面和背面，所述背板包括贴合区，所述贴合区的第二表面和第一表面相贴合，贴合区第二表面到背面的距离与溅射面到第一表面的距离之和为第二距离，所述第二距离具有预设值，所述第一距离为第二距离的25.5％～99.5％。所述靶材组件使得靶材的寿命增加，且使靶材组件的使用难度和制作成本均降低。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材组件 第一表面 溅射面 第二表面 贴合区 靶材 背板 长寿命 寿命增加 贴合 预设 背面 制作 | ||
【主权项】：
1.一种长寿命靶材组件，其特征在于，包括：靶材，所述靶材具有相对的溅射面和第一表面，所述溅射面为平面，所述溅射面到第一表面具有第一距离；背板，所述背板具有相对的第二表面和背面，所述背板包括贴合区，所述贴合区的第二表面和第一表面相贴合，贴合区第二表面到背面的距离与溅射面到第一表面的距离之和为第二距离，所述第二距离具有预设值，所述第一距离为第二距离的25.5％～99.5％。
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