[发明专利]长寿命靶材组件及其形成方法在审
| 申请号： | 201611153514.6 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN108220891A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;刘霞 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐文欣;吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材组件 第一表面 溅射面 第二表面 贴合区 靶材 背板 长寿命 寿命增加 贴合 预设 背面 制作 | ||
1.一种长寿命靶材组件，其特征在于，包括：
靶材，所述靶材具有相对的溅射面和第一表面，所述溅射面为平面，所述溅射面到第一表面具有第一距离；
背板，所述背板具有相对的第二表面和背面，所述背板包括贴合区，所述贴合区的第二表面和第一表面相贴合，贴合区第二表面到背面的距离与溅射面到第一表面的距离之和为第二距离，所述第二距离具有预设值，所述第一距离为第二距离的25.5％～99.5％。
2.根据权利要求1所述的长寿命靶材组件，其特征在于，所述预设值为20mm～30mm。
3.根据权利要求2所述的长寿命靶材组件，其特征在于，所述预设值为25.4mm。
4.根据权利要求3所述的长寿命靶材组件，其特征在于，所述第一距离为6.477mm～25.273mm。
5.根据权利要求1所述的长寿命靶材组件，其特征在于，所述靶材包括钽靶材。
6.根据权利要求1所述的长寿命靶材组件，其特征在于，所述背板还包括位于贴合区周围的边缘区；所述贴合区的第二表面凸出于所述边缘区的第二表面。
7.根据权利要求1所述的长寿命靶材组件，其特征在于，所述贴合区背板中具有凹槽，所述凹槽的底部表面为部分第二表面，所述凹槽用于容纳靶材。
8.一种长寿命靶材组件的形成方法，其特征在于，包括：
形成靶材，所述靶材具有相对的溅射面和第一表面，所述溅射面为平面，所述溅射面到第一表面具有第一距离；
形成背板，所述背板具有相对的第二表面和背面，所述背板包括贴合区，贴合区第二表面到背面的距离与溅射面到第一表面的距离之和为第二距离，所述第二距离具有预设值，所述第一距离为第二距离的25.5％～99.5％；
将第一表面和贴合区第二表面贴合。
9.根据权利要求8所述的长寿命靶材组件的形成方法，其特征在于，所述预设值为20mm～30mm。
10.根据权利要求9所述的长寿命靶材组件的形成方法，其特征在于，所述预设值为25.4mm。
11.根据权利要求10所述的长寿命靶材组件的形成方法，其特征在于，所述第一距离为6.477mm～25.273mm。
12.根据权利要求8所述的长寿命靶材组件的形成方法，其特征在于，所述靶材包括钽靶材。
13.根据权利要求8所述的长寿命靶材组件的形成方法，其特征在于，所述背板还包括位于贴合区周围的边缘区；所述贴合区的第二表面凸出于所述边缘区的第二表面；将所述第一表面和贴合区第二表面贴合的方法包括：将第一表面和贴合区第二表面接触后，将所述靶材和背板焊接在一起。
14.根据权利要求8所述的长寿命靶材组件的形成方法，其特征在于，所述贴合区背板中具有凹槽，所述凹槽的底部表面为部分第二表面；将所述第一表面和贴合区第二表面贴合的方法包括：将所述靶材置于所述凹槽中，所述第一表面和凹槽的底部表面接触；将所述靶材置于所述凹槽中后，将所述靶材和背板焊接在一起。
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