[发明专利]二维纳米柔性运动平台

摘要

本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台，包括：基座；终端平台；X向连接杆和Y向连接杆；两个X向柔性导向件，两个X向柔性导向件分别与X向连接杆的两端相连；两个Y向柔性导向件，两个Y向柔性导向件分别与Y向连接杆的两端相连；两个X向柔性解耦件，两个X向柔性解耦件分别与X向连接杆的两端相连，两个X向柔性解耦件分别与两个X向柔性导向件相连；两个Y向柔性解耦件，两个Y向柔性解耦件分别与Y向连接杆的两端相连，两个Y向柔性解耦件分别与两个Y向柔性导向件相连；X向驱动器和Y向驱动器。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有误差小、精度高等优点。

主权项

1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连，每个所述X向柔性导向件包括X向内侧板簧、X向外侧板簧和X向刚性连接件，两个所述X向内侧板簧分别与所述X向连接杆的两端相连，所述X向外侧板簧位于所述X向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述X向内侧板簧和所述X向外侧板簧通过所述X向刚性连接件相连，每个所述Y向柔性导向件包括Y向内侧板簧、Y向外侧板簧和Y向刚性连接件，两个所述Y向内侧板簧分别与所述Y向连接杆的两端相连，所述Y向外侧板簧位于所述Y向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述Y向内侧板簧和所述Y向外侧板簧通过所述Y向刚性连接件相连，所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度低于所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧，所述终端平台、所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件、所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧在竖直方向上的高度相同，所述X向连接杆、Y向连接杆、所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度相同。