[发明专利]二维纳米柔性运动平台

说明书

本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台，包括：基座；终端平台；X向连接杆和Y向连接杆；两个X向柔性导向件，两个X向柔性导向件分别与X向连接杆的两端相连；两个Y向柔性导向件，两个Y向柔性导向件分别与Y向连接杆的两端相连；两个X向柔性解耦件，两个X向柔性解耦件分别与X向连接杆的两端相连，两个X向柔性解耦件分别与两个X向柔性导向件相连；两个Y向柔性解耦件，两个Y向柔性解耦件分别与Y向连接杆的两端相连，两个Y向柔性解耦件分别与两个Y向柔性导向件相连；X向驱动器和Y向驱动器。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有误差小、精度高等优点。

技术领域

本发明涉及纳米级位移输出技术领域，具体而言，涉及一种二维纳米柔性运动平台。

背景技术

相关技术中的二维纳米柔性运动平台，其寄生误差较大，特别是对于大行程的二维纳米柔性运动平台尤为明显，影响二维纳米柔性运动平台的运动精度。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。为此，本发明提出一种二维纳米柔性运动平台,该二维纳米柔性运动平台具有误差小、精度高等优点。

为实现上述目的，根据本发明的实施例提出一种二维纳米柔性运动平台，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连。

根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台，具有误差小、精度高等优点。

另外，根据本发明上述实施例的二维纳米柔性运动平台还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，两个所述X向柔性导向件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性导向件在Y向上对称设置，两个所述X向柔性解耦件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性解耦件在Y向上对称设置。

根据本发明的一个实施例，每个所述X向柔性导向件包括X向内侧板簧、X向外侧板簧和X向刚性连接件，两个所述X向内侧板簧分别与所述X向连接杆的两端相连，所述X向外侧板簧位于所述X向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述X向内侧板簧和所述X向外侧板簧通过所述X向刚性连接件相连，每个所述Y向柔性导向件包括Y向内侧板簧、Y向外侧板簧和Y向刚性连接件，两个所述Y向内侧板簧分别与所述Y向连接杆的两端相连，所述Y向外侧板簧位于所述Y向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述Y向内侧板簧和所述Y向外侧板簧通过所述Y向刚性连接件相连。

根据本发明的一个实施例，所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度低于所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧。

根据本发明的一个实施例，所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件、所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧在竖直方向上的高度相同。

根据本发明的一个实施例，所述终端平台、所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件、所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧在竖直方向上的高度相同。