[发明专利]二维纳米柔性运动平台

权利要求书

1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：

基座；

终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；

X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；

两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；

两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；

两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；

两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；

X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连，每个所述X向柔性导向件包括X向内侧板簧、X向外侧板簧和X向刚性连接件，两个所述X向内侧板簧分别与所述X向连接杆的两端相连，所述X向外侧板簧位于所述X向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述X向内侧板簧和所述X向外侧板簧通过所述X向刚性连接件相连，每个所述Y向柔性导向件包括Y向内侧板簧、Y向外侧板簧和Y向刚性连接件，两个所述Y向内侧板簧分别与所述Y向连接杆的两端相连，所述Y向外侧板簧位于所述Y向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述Y向内侧板簧和所述Y向外侧板簧通过所述Y向刚性连接件相连，所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度低于所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧，所述终端平台、所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件、所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧在竖直方向上的高度相同，所述X向连接杆、Y向连接杆、所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度相同。

2.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，两个所述X向柔性导向件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性导向件在Y向上对称设置，两个所述X向柔性解耦件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性解耦件在Y向上对称设置。

3.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述基座包括：

基板；

四个内连接凸台，四个所述内连接凸台在所述基板的上表面间隔设置，每个所述X向内侧板簧的两端分别与相邻的两个所述内连接凸台相连，每个所述Y向内侧板簧的两端分别与相邻的两个所述内连接凸台相连；

四个外连接凸台，四个所述外连接凸台在所述基板的上表面间隔设置且位于四个所述内连接凸台的外侧，每个所述X向外侧板簧的两端分别与相邻的两个所述外连接凸台相连，每个所述Y向外侧板簧的两端分别与相邻的两个所述外连接凸台相连。

4.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，每个所述X向柔性解耦件包括两个X向外平行板簧、两个X向内平行板簧和两个X向刚性连接板，两个所述X向外平行板簧均与所述终端平台的同一侧边沿相连，两个所述X向内平行板簧位于两个所述X向外平行板簧的内侧且与两个所述X向外平行板簧平行设置，两个所述X向内平行板簧均与对应的所述X向柔性导向件相连，两个所述X向外平行板簧分别通过两个所述X向刚性连接板与两个所述X向内平行板簧相连，每个所述Y向柔性解耦件包括两个Y向外平行板簧、两个Y向内平行板簧和两个Y向刚性连接板，两个所述Y向外平行板簧均与所述终端平台的同一侧边沿相连，两个所述Y向内平行板簧位于两个所述Y向外平行板簧的内侧且与两个所述Y向外平行板簧平行设置，两个所述Y向内平行板簧均与对应的所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向外平行板簧分别通过两个所述Y向刚性连接板与两个所述Y向内平行板簧相连。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述X向驱动器和所述Y向驱动器为音圈电机或压电陶瓷。