[发明专利]一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测方法有效
| 申请号： | 201611131309.X | 申请日： | 2016-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN106767403B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 杨飞;安其昌;赵宏超;郭鹏;姜海波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测方法，包括：选取待测辅助设备，并计算与待测辅助设备的理想光轴重合的预定位置；将点光源显微镜移动至预定位置，发射与理想光轴平行的准直光至位于待测辅助设备的焦点处的靶面；判断准直光在靶面上形成的光斑是否与靶面中心重合，若否，则根据光斑与所述靶面中心之间的偏离距离计算待测辅助设备的实际光轴的位置；根据实际光轴的位置以及所述理想光轴的位置计算光轴位置误差。相对现有技术中的不仅可以节省成本，而且缩短误差检测时间，还可以适应不同口径光学系统的光轴误差检测任务。本申请还公开了一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测系统，具有同样的技术效果。 | ||
| 搜索关键词： | 光轴 辅助设备 光学系统 光轴位置 误差检测 靶面 光斑 实际光轴 预定位置 准直光 误差检测系统 显微镜移动 光轴平行 光轴重合 技术效果 偏离距离 位置计算 中心重合 点光源 焦点处 申请 口径 发射 | ||
【主权项】：
1.一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测方法，其特征在于，包括：选取待测辅助设备，并计算与所述待测辅助设备的理想光轴重合的预定位置；将点光源显微镜移动至所述预定位置，发射与所述理想光轴平行的准直光至位于所述待测辅助设备的焦点处的靶面；判断所述准直光在所述靶面上形成的光斑是否与靶面中心重合，若否，则根据所述光斑与所述靶面中心之间的偏离距离计算所述待测辅助设备的实际光轴的位置；根据所述实际光轴的位置以及所述理想光轴的位置计算光轴位置误差。
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