[发明专利]一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测方法

权利要求书

1.一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测方法，其特征在于，包括：

选取待测辅助设备，并计算与所述待测辅助设备的理想光轴重合的预定位置；

将点光源显微镜移动至所述预定位置，发射与所述理想光轴平行的准直光至位于所述待测辅助设备的焦点处的靶面；

判断所述准直光在所述靶面上形成的光斑是否与靶面中心重合，若否，则根据所述光斑与所述靶面中心之间的偏离距离计算所述待测辅助设备的实际光轴的位置；

根据所述实际光轴的位置以及所述理想光轴的位置计算光轴位置误差。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，将点光源显微镜移动至所述预定位置，具体包括：

利用机械臂将点光源显微镜移动至所述预定位置，所述光源显微镜设置于所述机械臂的移动末端。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，计算所述待测辅助设备的实际光轴的位置之后，还包括：

在所述机械臂上设置激光跟踪仪靶球，并利用激光跟踪仪获取所述待测辅助设备的实际光轴的三维空间信息。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述机械臂上设置激光跟踪仪靶球，具体包括：

设置于所述机械臂上的三个激光跟踪仪靶球分别位于直角等边三角形的三个顶点位置。

5.一种多光轴光学系统的光轴位置误差检测系统，其特征在于，包括：

位置选取模块，用于选取待测辅助设备，并计算与所述待测辅助设备的理想光轴重合的预定位置；

显微镜移动装置，用于将点光源显微镜移动至所述预定位置；

光源显微镜，用于发射与所述理想光轴平行的准直光至位于所述待测辅助设备的焦点处的靶面；

判断模块，用于判断所述准直光在所述靶面上形成的光斑是否与靶面中心重合；

计算模块，用于根据所述光斑与所述靶面中心之间的偏离距离计算所述待测辅助设备的实际光轴的位置，根据所述实际光轴的位置以及所述理想光轴的位置计算光轴位置误差。

6.如权利要求5所述的系统，其特征在于，所述显微镜移动装置为机械臂，所述光源显微镜设置于所述机械臂的移动末端。

7.如权利要求6所述的系统，其特征在于，还包括：

设置于所述机械臂上的三个激光跟踪仪靶球分别位于直角等边三角形的三个顶点位置；

激光跟踪仪，用于获取所述待测辅助设备的实际光轴的三维空间信息。

8.如权利要求7所述的系统，其特征在于，所述光源显微镜发射的所述准直光为功率为0.2mW、直径为6mm的准直激光或者红色LED准直光。