[发明专利]上料除静电装置在审
| 申请号： | 201611122219.4 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108174502A | 公开（公告）日： | 2018-06-15 |
| 发明（设计）人： | 薛娇 | 申请（专利权）人： | 镇江立中机械设备有限公司 |
| 主分类号： | H05F3/06 | 分类号： | H05F3/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212028 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及上料除静电装置，包括工作台、离子风机、抽风系统和防护网罩，所述离子风机通过固定支架架设于所述工作台上，其出风口正对工作台台面；在所述工作台台面上、正对离子风机下方开设有进风口；在所述进风口处设置有防护网罩；在所述进风口下方设置有用于吸取储存杂物颗粒的抽风系统。本发明可有效去除因静电吸附在硅片表面和操作员手套上的泡沫颗粒。 1 | ||
| 搜索关键词： | 离子风机 除静电装置 抽风系统 防护网罩 进风口 工作台 上料 正对 工作台台面 固定支架 硅片表面 进风口处 静电吸附 泡沫颗粒 杂物颗粒 出风口 手套 去除 架设 储存 | ||
【主权项】：
1.上料除静电装置，其特征在于：包括工作台、离子风机、抽风系统和防护网罩，所述离子风机通过固定支架架设于所述工作台上，其出风口正对工作台台面；在所述工作台台面上、正对离子风机下方开设有进风口；在所述进风口处设置有防护网罩；在所述进风口下方设置有用于吸取储存杂物颗粒的抽风系统。2.根据权利要求1所述的上料除静电装置，其特征在于：所述抽风系统由腔体式结构的吸收仓、金属离心风轮、电容运转异步电动机和接收存储网袋组成，所述存储网袋与所述抽风系统出风口连接。3.根据权利要求2所述的上料除静电装置，其特征在于：所述存储网袋与所述抽风系统出风口可拆卸连接。4.根据权利要求1所述的上料除静电装置，其特征在于：所述进风口面积不小于所述离子风机出风口大小。5.根据权利要求1所述的上料除静电装置，其特征在于：所述防护网罩孔径不小于杂物颗粒大小。
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