[发明专利]一种高介电常数复合氧化膜电极箔制造方法有效
| 申请号： | 201611120038.8 | 申请日： | 2016-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN106384670B | 公开（公告）日： | 2018-07-31 |
| 发明（设计）人： | 严季新;陈健;王建中;朱鸿伟 | 申请（专利权）人： | 南通海星电子股份有限公司;南通海一电子有限公司;宁夏海力电子有限公司 |
| 主分类号： | H01G9/042 | 分类号： | H01G9/042;H01G9/045;H01G9/055 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 张素庆 |
| 地址： | 226000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高介电常数复合氧化膜电极箔制造方法，包括以下步骤：经过扩面腐蚀的铝箔→溶胶—凝胶法制备的50~70℃钛酸正丁酯与乙二醇甲醚混合体系中，施加5~10V直流电压、30~60mA/cm²电流密度下进行电沉积0.5~2min→100~200℃空气氛围中干燥3~5min→在1~3atm压力下的保护气体氛围状态下400~600℃高温热处理1~24h→化成生产。本发明具有方法简单易控，不影响目前腐蚀、化成箔生产过程，经过该过程处理过的产出箔与传统工艺相比比容提升20%以上的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 介电常数 复合 氧化 电极 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高介电常数复合氧化膜电极箔制造方法，其特征在于：包括以下步骤：将经过扩面腐蚀的铝箔，置于通过溶胶凝胶法制备的50~70℃钛酸正丁酯与乙二醇甲醚混合体系中，在该体系中施加5~10V直流电压、30~60mA/cm²电流密度下进行电沉积0.5~2min→100~200℃空气氛围中干燥3~5min→在1~3atm压力下的保护气体氛围状态下400~600℃高温热处理1~24h→化成生产；所述的钛酸正丁酯与乙二醇甲醚按体积比1:3~5混合，所得溶液在40~80℃下进行12~24h螯合反应，然后加纯水调节溶液浓度为0.1~1mol/L。
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