[发明专利]具有应力补偿层的激光再封在审
| 申请号： | 201611113123.1 | 申请日： | 2016-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN107032295A | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | A·布莱特林;F·赖兴巴赫;J·莱茵穆特;J·阿姆托尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出用于制造微机械结构元件的方法，微机械结构元件具有基底和与基底连接并与基底包围一第一空腔的盖，其中，在第一空腔中，第一压力占主导并且包括具有第一化学成分的第一气体混合物，其中，在第一方法步骤中，在基底中或者在盖中构造使第一空腔与微机械结构元件的周围环境连接的进口孔，其中，在第二方法步骤中，调节第一空腔中的第一压力和/或第一化学成分，其中，在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热导入到基底或盖的吸收部分中来封闭进口孔，其中，在第四方法步骤中，在基底的或盖的表面上在进口孔的区域中沉积或生长一个层，用于产生第二机械应力，所述第二机械应力反作用于在进口孔被封闭的情况下产生的第一机械应力。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 应力 补偿 激光 | ||
【主权项】：
一种用于制造微机械结构元件(1)的方法，所述微机械结构元件具有基底(3)和与所述基底(3)连接并且与所述基底(3)包围一第一空腔(5)的盖(7)，其中，在所述第一空腔(5)中，第一压力占主导并且包括具有第一化学成分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤(101)中，在所述基底(3)中或者在所述盖(7)中构造使所述第一空腔(5)与所述微机械结构元件(1)的周围环境(9)连接的进口孔(11)，其中，‑在第二方法步骤(102)中，调节所述第一空腔(5)中的第一压力和/或第一化学成分，其中，‑在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热导入到所述基底(3)的或所述盖(7)的吸收部分中来封闭所述进口孔(11)，其特征在于，在第四方法步骤(104)中，在所述基底(3)的或所述盖(7)的表面上在所述进口孔(11)的区域中沉积或生长一个层，用于产生第二机械应力，所述第二机械应力反作用于在所述进口孔(11)被封闭的情况下产生的第一机械应力。
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