[发明专利]用于制造微机械结构元件的方法和微机械结构元件有效
| 申请号： | 201611101906.8 | 申请日： | 2016-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN106853956B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | A·布莱特林;F·赖兴巴赫;J·莱茵穆特;J·阿姆托尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81B7/02;G01P15/08;G01P3/42 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于制造微机械结构元件的方法，所述微机械结构元件具有基底以及与所述基底连接并且与所述基底包围第一空腔的盖，其中，在第一空腔中，第一压力占主导并且包括具有第一化学成分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在基底中或者在盖中构造使第一空腔与微机械结构元件的周围环境连接的进口孔，其中，‑在第二方法步骤中，调节第一空腔中的第一压力和/或第一化学成分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光将能量或热引入到基底或盖的吸收部分中来封闭进口孔，其中，在第四方法步骤中，将用于进一步调节第一压力和/或第一化学成分的反应气体引入到第一空腔中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 微机 结构 元件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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