[发明专利]WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统有效
| 申请号： | 201611085624.3 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106776911B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 沈茜;娄晓祺 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G06F16/172 | 分类号： | G06F16/172;G06F16/16;G06F16/18 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统，该方法包括：步骤一，设置一BAN文件夹；步骤二，当该WAT机台报警，lot中途停止时，判断已测试的数据是否已发送，如数据已发送，则进入步骤四，否则则进入步骤三；步骤三，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式，并将其上传；步骤四，对BAN文件夹进行更新，并将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止；步骤五，选择剩下未测试的晶圆开始测试；步骤六，重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器，本发明能够有效解决WAT机台中途报警停货引起的lot异常处理。 | ||
| 搜索关键词： | wat 机台 报警 引起 lot 异常 处理 优化 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法，包括如下步骤：步骤一，设置一BAN文件夹，以于该WAT机台测试中断，将数据保存于该BAN文件夹中；步骤二，当该WAT机台报警，lot中途停止时，判断已测试的数据是否已发送，如数据已发送，则进入步骤四，否则则进入步骤三；步骤三，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式，并将其上传；步骤四，对BAN文件夹进行更新，并将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止；步骤五，选择剩下未测试的晶圆开始测试；步骤六，重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器。
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