[发明专利]WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种lot异常处理优化方法及系统，特别是涉及一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统。

背景技术

目前，当WAT(Wafer Acceptance，晶圆验收测试)机台发生报警，lot(一个基本批量的晶圆组)中途停止，工程师晚上无法即时得知，MFG(Manufacturing，生产)会要求设备down机(停机)，设备维修机台，三个部门都无法即时得知当前lot测试至哪里，而且此时lot无法继续测试出货，必须工程师到场处理，甚至会发生在后续出货过程中，发现wafer(晶圆)数据有缺，工程师需要重新导出数据，合并数据，并重新上传，花费很多时间，严重影响出货进程。

发明内容

为克服上述现有技术存在的不足，本发明之目的在于提供一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统，其能够有效解决WAT机台中途报警停货引起的lot异常处理，有效地加速lot正常出货流程，在测试中途停止后，自动将测试完毕的数据存入文件夹，并提示未测试的wafer(晶圆)数量，并主动告知工程师，当全部测试完毕后，自动合并数据，上传系统。

为达上述目的，本发明提出一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法，包括如下步骤：

步骤一，设置一BAN文件夹，以于该WAT机台测试中断，将数据保存于该BAN文件夹中；

步骤二，当该WAT机台报警，lot中途停止时，判断已测试的数据是否已发送，如数据已发送，则进入步骤四，否则则进入步骤三；

步骤三，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式，并将其上传；

步骤四，对BAN文件夹进行更新，并将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止；

步骤五，选择剩下未测试的晶圆开始测试；

步骤六，重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器。

进一步地，于步骤一中，当机台测试中断，将数据保存在该BAN文件夹下，并存储中断日志文件。

进一步地，于步骤三中，将数据.ad5文件转成.lot后上传至该BAN文件夹。

进一步地，于步骤四中，启动邮件通知系统将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止。

进一步地，于步骤六中，于重测完毕将中断前后的数据合并后，清除中断日志下的相关内容。

为达到上述目的，本发明还提供一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统，包括：

异常监测模块，于监测到WAT机台报警，lot中途停止时，启动判断模块；

判断模块，用于判断已测试的数据是否已发送；

分析处理模块，根据该判断模块的判断结果，对已测试数据进行相应处理，并更新用于存储测试中断数据的BAN文件夹，同时通知预设工程师lot中途停止，并选择剩下未测试的晶圆开始测试；

合并模块，于重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器。

进一步地，该系统还包括一设置模块，用于设置该BAN文件夹，以于该WAT机台测试中断，将数据保存于该BAN文件夹中，并保存中断日志文件。

进一步地，该分析处理模块于该判断模块判断出已测试的数据未发送时，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式后将其上传，并对该BAN文件夹进行更新，将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止。

进一步地，该合并模块于重测完毕将中断前后的数据合并后，清除中断日志下的相关内容。

进一步地，该分析处理模块将数据.ad5文件转成.lot后上传至该BAN文件夹。

与现有技术相比，本发明一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统能够有效解决WAT机台中途报警停货引起的lot异常处理，有效地加速lot正常出货流程，在测试中途停止后，自动将测试完毕的数据存入ban文件夹，并提示未测试的wafer数量，并主动发出邮件告知工程师，当全部测试完毕后，自动合并数据，上传系统。

附图说明

图1为本发明一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法的步骤流程图；

图2为本发明一具体实施例中之WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法的步骤流程图；

图3为本发明具体实施例中启动邮件通知工程师的示意图；

图4为本发明具体实施例之显示界面示意图；