[发明专利]精密移载手臂在审
| 申请号： | 201611070463.0 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN106405896A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 罗怀锋 | 申请（专利权）人： | 无锡特恒科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙)32104 | 代理人： | 殷红梅,张仕婷 |
| 地址： | 214142 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种精密移载手臂，属于半导体生产技术领域。其包括手臂本体、补位板和紧固板；所述手臂本体的背面下方设有补位板，紧固板位于补位板的下方，手臂本体、补位板和紧固板固定连接。本发明结构简单，调整方便，通过螺栓的调整即可方便的实现移载夹具的定位，实现高精密调整移载位置的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 手臂 | ||
【主权项】：
精密移载手臂，其特征是：包括手臂本体（1）、补位板（2）和紧固板（3）；所述手臂本体（1）的背面下方设有补位板（2），紧固板（3）位于补位板（2）的下方，手臂本体（1）、补位板（2）和紧固板（3）固定连接。
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