[发明专利]加热板和烘烤装置在审
| 申请号： | 201611069129.3 | 申请日： | 2016-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN106353909A | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 吴良东;高明圣;陈仲仁;王鹏 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1333 | 分类号： | G02F1/1333 |
| 代理公司： | 广州三环专利代理有限公司44202 | 代理人： | 郝传鑫,熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种加热板，用于加热基板，所述加热板包括一个第一加热块和多个第二加热块，多个所述第二加热块对应所述基板的周边位置分布，且多个所述第二加热块围设在所述第一加热块的外周；每个所述第二加热块的加热面积均小于所述第一加热块的加热面积，所述第一加热块及每个所述第二加热块的加热温度均为单独控制。本发明还提供了一种烘烤装置，用于烘烤基板，所述烘烤装置包括箱体、设于所述箱体内的所述加热板及温控单元。本发明的方案能够精确控制基板边缘的烘烤温度，极大提升基板的CD均一性。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 烘烤 装置 | ||
【主权项】：
一种加热板，用于加热基板，其特征在于，所述加热板包括一个第一加热块和多个第二加热块，多个所述第二加热块对应所述基板的周边位置分布，且多个所述第二加热块围设在所述第一加热块的外周；每个所述第二加热块的加热面积均小于所述第一加热块的加热面积，所述第一加热块及每个所述第二加热块的加热温度均为单独控制。
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