[发明专利]一种动态可调配气控制系统在审
申请号: | 201611065615.8 | 申请日: | 2016-11-28 |
公开(公告)号: | CN108121368A | 公开(公告)日: | 2018-06-05 |
发明(设计)人: | 王丽艳 | 申请(专利权)人: | 王丽艳 |
主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 110000 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种动态可调配气控制系统,加入一个比例阀进行小工作气流调节,同时引入PID控制器,实现了稀释气体流量可调,达到协调控制。该控制系统比常规配气系统中单纯只对质量流量控制器流量值进行简单设置的动态配气系统稳定性更好,响应速度更快。 | ||
搜索关键词: | 气控制系统 调配 质量流量控制器 动态配气系统 稀释气体流量 工作气流 控制系统 配气系统 协调控制 比例阀 可调 响应 引入 | ||
【主权项】:
一种动态可调配气控制系统,其特征是:所述控制系统中,比例阀作为调节气体流量的执行机构,质量流量控制器作为气路流量的检测器件,用浓度检测仪对从混气室流出的气体进行检测,微控制器作为主要的控制系统,接受反馈数据,并通过比例阀对气路的流量进行控制。
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