[发明专利]一种动态可调配气控制系统

权利要求书

1.一种动态可调配气控制系统，其特征是：所述控制系统中，比例阀作为调节气体流量的执行机构，质量流量控制器作为气路流量的检测器件，用浓度检测仪对从混气室流出的气体进行检测，微控制器作为主要的控制系统，接受反馈数据，并通过比例阀对气路的流量进行控制。

2.根据权利要求1所述的一种动态可调配气控制系统，其特征是：所述整个配气系统由两条气路组成，原料气通过的为主气路，稀释气体通过的为副气路，在副气路中，先用大工作气流的比例阀进行调节，将原料气稀释到一个接近要求数值且稳定的状态时，停止对大工作气流比例阀的调节，转入对小工作气流比例阀的调节，这样减小了系统滞后以及气体浓度产生的波动范围，这样就减小了气体浓度值带来得影响，能更加精确地得到气体要求浓度。

3.根据权利要求1所述的一种动态可调配气控制系统，其特征是：所述控制系统利用PID控制器对系统进行控制，可使系统的型别提高一级，与PI控制器相比，PID控制器除了同样具有提高系统的稳态性能的优点外，还多提供了一个负实零点，从而在提高系统动态性能方面，具有更大的优越性。