[发明专利]导电体图案检查装置

摘要

导电体图案检查装置中，第一传感器电极与供电了检查信号的第一导电体图案电容耦合而检测第一检测信号，第二传感器电极与没有供电检查信号的第二导电体图案电容耦合而在第二导电体图案中流过了检查信号时检测其作为第二检测信号，检测信号处理部算出将第一检测信号和第二检测信号相加后的和信号、和从第一检测信号减去了第二检测信号的差信号，将差信号除以和信号，生成判定用信号。将该判定用信号与阈值进行比较，判定有无短路的缺陷。

主权项

1.一种导电体图案检查装置，其中，具备：检查信号供应部，生成用于向以在电路基板上配置为列状的方式形成的多个导电体图案进行供电的交流的检查信号；供电电极部，与所述多个导电体图案电容耦合，向每隔一列的导电体图案供电所述检查信号；受电电极部，由第一传感器电极以及第二传感器电极构成，所述第一传感器电极与供电了所述检查信号的第一导电体图案电容耦合，检测所述检查信号作为第一检测信号，所述第二传感器电极与没有供电所述检查信号的与所述第一导电体图案邻接的第二导电体图案电容耦合，在该第二导电体图案中流过所述检查信号时，检测其作为第二检测信号；检测信号处理部，算出将所述第一检测信号和所述第二检测信号相加后的和信号、和从所述第一检测信号减去了所述第二检测信号的差信号，将所述差信号除以所述和信号，在存在短路的缺陷时，生成为0值的判定用信号；以及缺陷判定部，将所述判定用信号与预先设定的阈值进行比较，判定有无缺陷。