[发明专利]导电体图案检查装置

说明书

导电体图案检查装置中，第一传感器电极与供电了检查信号的第一导电体图案电容耦合而检测第一检测信号，第二传感器电极与没有供电检查信号的第二导电体图案电容耦合而在第二导电体图案中流过了检查信号时检测其作为第二检测信号，检测信号处理部算出将第一检测信号和第二检测信号相加后的和信号、和从第一检测信号减去了第二检测信号的差信号，将差信号除以和信号，生成判定用信号。将该判定用信号与阈值进行比较，判定有无短路的缺陷。

技术领域

本发明涉及对在基板上形成的导电体图案使用非接触的检查电极进行电性检查的导电体图案检查装置。

背景技术

一般来说，在用于安装电子部件的由硬质树脂构成的电路基板、弯曲自由的柔性电路基板上，形成有用于连接部件间的导电体图案。此外，在太阳能电池、太阳发电用面板等中使用的电路基板中，例如，组合而形成用于从一根短路棒的侧方起电的多个电极梳齿状地延出的梳形状的导电体图案。

检测有无这些导电体图案中的短路、断线的以往的电性检查中，在将尖端形状的检查探头向成为检查对象的导电体图案、电极推压而进行了电性连接后，供电检查信号，检测相当于从该导电体图案供应的检查信号的检测信号，判定有无基于断线、短路的缺陷。

进而，为了实现检查的高效化，一边使检查电极侧或电路基板侧的其中一个移动，一边对多个电路基板连续地实施检查。在使该检查探头与导电体图案接触的情况下，为了实现接触电阻的降低而某种程度的按压起作用，所以给予刮削导电体图案的伤等损伤。

此外，作为防止在检查时给予的对导电体图案的损伤的检查装置，例如，在专利文献1：(日本)特开2004-191381号公报中，公开了对导电体图案以非接触的方式实施电性检查的导电体图案检查装置。

该导电体图案检查装置在至少使由供电电极和传感器电极构成的一组检查电极接近检查对象的导电体图案而电容耦合的状态下，从供电电极施加作为检查信号的交流检查信号，由传感器电极检测在导电体图案传播的交流检查信号，通过所检测的检测信号的电平，进行有无断线以及短路的检查。

在以前述的非接触的方式利用了电容耦合的检查装置中，检查电极空开预先决定的距离、所谓缝隙而与导电体图案对置，检测从导电体图案侧传播的交流检查信号。与将直流信号用作检查信号的检查装置的检测值相比，通过电容耦合来检测交流的检查信号的检测值成为微小的值。

特别是，在导电体图案和检查电极之间的距离即电容耦合中的电极间距离变动的情况下，所取得的检测信号的信号值较大地变动。这是相对于成为进行检查的好坏判定的基准的阈值，所取得的信号值较大地变动的情况，即使实际上导电体图案正常，若距离过远，则所检测的检测值比阈值低而判断为不良的状况被顾虑。

若提升检查电极的移动机构、或电路基板的输送机构的动作精度，则能够使这样的导电体图案和检查电极之间的距离的变动降低。但是，提高这些移动机构或输送机构的动作精度不容易，需要进一步的构成部位的尺寸的高精度化，还包含装配调整的提高等人的能力的提高。此外，设想为了实现生产效率的提高，形成导电体图案的基板也要求大型化，在大型基板上要求当前的检查精度或这以上的检查精度，所以技术的难易度变高，制造成本也大幅度提高。

发明内容

按照本发明的实施方式，提供使按照对置的导电体图案和检查电极的距离的变动的检测信号的值的变动减少，取得更准确的有无导电体图案的缺陷的检查结果的导电体图案检查装置。