[发明专利]导电体图案检查装置

权利要求书

1.一种导电体图案检查装置，其中，具备：

检查信号供应部，生成用于向以在电路基板上配置为列状的方式形成的多个导电体图案进行供电的交流的检查信号；

供电电极部，与所述多个导电体图案电容耦合，向每隔一列的导电体图案供电所述检查信号；

受电电极部，由第一传感器电极以及第二传感器电极构成，所述第一传感器电极与供电了所述检查信号的第一导电体图案电容耦合，检测所述检查信号作为第一检测信号，所述第二传感器电极与没有供电所述检查信号的与所述第一导电体图案邻接的第二导电体图案电容耦合，在该第二导电体图案中流过所述检查信号时，检测其作为第二检测信号；

检测信号处理部，算出将所述第一检测信号和所述第二检测信号相加后的和信号、和从所述第一检测信号减去了所述第二检测信号的差信号，将所述差信号除以所述和信号，在存在短路的缺陷时，生成为0值的判定用信号；以及

缺陷判定部，将所述判定用信号与预先设定的阈值进行比较，判定有无缺陷。

2.如权利要求1所述的导电体图案检查装置，其中，

从将所述第一检测信号和所述第二检测信号相加后的和信号，减去与该和信号重叠的共模噪声。

3.如权利要求1所述的导电体图案检查装置，其中，具备：

移动机构控制部，在检查时将所述电路基板沿着所述多个导电体图案的延伸方向输送。

4.如权利要求1所述的导电体图案检查装置，其特征在于，

所述多个导电体图案中，所述第一导电体图案被形成为梳形状，作为梳齿部其各一端侧由第一短路棒部短路连接，

所述第二导电体图案被形成为梳形状，作为梳齿部其所述第一短路棒部的相反侧的各另一端侧由第二短路棒部短路连接，

配置为所述第一短路棒部以及所述第二短路棒部都位于外侧，将所述梳齿部交替地空开等间隔而咬合从而成对，

进而，在所述第一短路棒部上配置所述供电电极部。