[发明专利]采用聚焦离子束的电路跟踪有效
| 申请号： | 201611060195.4 | 申请日： | 2014-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN106842001B | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 克里斯·帕夫洛维奇;亚历山大·索金;迈克尔·W·法纳夫;亚历山大·克里茨米尔;肯·G·拉加里克 | 申请（专利权）人： | 泰科英赛科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/303 | 分类号： | G01R31/303;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 董科 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 用于通过采用聚焦离子束成像技术跟踪在集成电路上的电子线路的方法和系统。在集成电路上的第一组件或节点被连接到一集成电路上的第二组件或节点。在一个外部偏压被施加到所述第一组件或节点，一聚焦离子束被施加到所述集成电路，并且使用一个电子探测器采集图像。连接到第二组件的，在集成电路上的特征或组件将会在结果图像上产生高对比度。该方法还包括施加一个偏压给一个节点或组件，并且随后使用聚焦离子束技术(通过一电子探测器)以达成该集成电路的图案。连接到该节点的组件会在结果图像上呈现高对比度。 | ||
| 搜索关键词： | 采用 聚焦 离子束 电路 跟踪 | ||
【主权项】：
1.一种方法，用于追踪在一样本上电路的互连，该方法包括：a.施加一外部偏压在所述电路的一第一节点；b.将所述样本暴露于一聚焦离子束下；c.使用一聚焦离子束和一电子探测器，捕获一所述样本的至少一部分的图像；其特征在于，步骤c中采集到的所述图像显示了所述电路的一第二部分，该第二部分相对于所述图像中的其余部分呈现高对比度，所述第一节点和所述第二部分通过在所述样本中的一个共同的路径互相连接。
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