[发明专利]气体管路的加热装置及半导体加工设备在审
| 申请号： | 201611025301.5 | 申请日： | 2016-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN108072171A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 琚里 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | F24H3/00 | 分类号： | F24H3/00;F24H9/18;F24H9/00;F24H9/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体管路的加热装置及半导体加工设备，其包括发热元件、电引入组件和电源，其中，发热元件均匀缠绕在内管的外壁上，用以加热内管中的气体；电引入组件设置在外管和内管的气体输入端，用以将环形间隙与外界真空隔离，并将发热元件的正/负极与电源电连接。本发明提供的气体管路的加热装置，其不仅可以提高与内管内的气体之间的热交换效率，而且还可以解决热量流失较快的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 发热元件 加热装置 气体管路 半导体加工设备 引入组件 内管 电源电连接 气体输入端 热交换效率 负极 环形间隙 加热内管 均匀缠绕 热量流失 真空隔离 外壁 外管 电源 | ||
【主权项】：
1.一种气体管路的加热装置，所述气体管路包括相互嵌套的外管和内管，二者之间具有环形间隙，其特征在于，所述加热装置包括发热元件、电引入组件和电源，其中，所述发热元件均匀缠绕在所述内管的外壁上，用以加热所述内管中的气体；所述电引入组件设置在所述外管和内管的气体输入端，用以将所述环形间隙与外界真空隔离，并将所述发热元件的正/负极与所述电源电连接。
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