[发明专利]气体管路的加热装置及半导体加工设备

权利要求书

1.一种气体管路的加热装置，所述气体管路包括相互嵌套的外管和内管，二者之间具有环形间隙，其特征在于，所述加热装置包括发热元件、电引入组件和电源，其中，

所述发热元件均匀缠绕在所述内管的外壁上，用以加热所述内管中的气体；

所述电引入组件设置在所述外管和内管的气体输入端，用以将所述环形间隙与外界真空隔离，并将所述发热元件的正/负极与所述电源电连接。

2.根据权利要求1所述的气体管路的加热装置，其特征在于，所述电引入组件包括第一法兰、两个电连接件和两个密封圈，其中，在所述外管和内管的气体输入端设置有第二法兰，所述第二法兰与所述第一法兰对接，且通过多个螺栓连接；

所述两个电连接件的内端依次贯穿所述第一法兰和第二法兰，并分别与所述发热元件的正极和负极电连接；所述两个电连接件的外端延伸至外界，并与所述电源电连接；

每个所述密封圈设置在所述电连接件和第一法兰之间；或者，每个所述密封圈设置在所述电连接件和第二法兰之间；或者，每个所述密封圈设置在所述电连接件与第二法兰之间，以及所述电连接件与第一法兰之间。

3.根据权利要求1所述的气体管路的加热装置，其特征在于，所述电引入组件包括法兰、两个电连接件和两个密封圈，其中，

所述法兰同时与所述外管和内管的气体输入端密封连接；

所述两个电连接件的内端贯穿所述法兰，并分别与所述发热元件的正极和负极电连接；所述两个电连接件的外端延伸至外界，并与所述电源电连接；

每个所述密封圈设置在所述电连接件和法兰之间。

4.根据权利要求3所述的气体管路的加热装置，其特征在于，所述法兰采用焊接的方式与所述外管和内管的输入端密封连接。

5.根据权利要求1所述的气体管路的加热装置，其特征在于，所述发热元件包括电伴热带或者电阻丝。

6.根据权利要求5所述的气体管路的加热装置，其特征在于，在所述发热元件的外表面包覆有保护层，用于提高所述发热元件的耐高温性能。

7.根据权利要求6所述的气体管路的加热装置，其特征在于，所述保护层包括玻璃棉或者矿物棉。

8.根据权利要求1所述的气体管路的加热装置，其特征在于，所述加热装置还包括温度控制单元，用于控制向所述发热元件输出的加热功率。

9.根据权利要求1所述的气体管路的加热装置，其特征在于，在所述外管的外侧设置有压力表，用以检测所述环形间隙中的气压。

10.一种半导体加工设备，包括反应腔室、气体管路和加热装置，其中，所述气体管路包括相互嵌套的外管和内管，二者之间具有环形间隙，并且所述内管用于向所述反应腔室内输送工艺气体；所述加热装置用于对所述内管中的工艺气体进行加热，其特征在于，所述加热装置采用权利要求1-9任意一项所述的加热装置。