[发明专利]具有药剂回收系统的光刻胶涂布机在审
| 申请号： | 201611016640.7 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN106406031A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 徐飞;彭建中;李亚明;高广修;吴昌龙;张良 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210033 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统；其中真空干燥装置连接高压冷却泵，高压冷却泵通过1个电磁阀‑气动阀结构连接药剂循环系统，药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口，药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。优点增加回收系统，提高药剂使用率，节省材料消耗，节省费用，降低公司成本。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 药剂 回收 系统 光刻 胶涂布机 | ||
【主权项】：
具有药剂回收系统的光刻胶涂布机，其特征在于，包括真空干燥装置、高压冷却泵、废液排出口、药剂循环系统和药剂回收系统；其中真空干燥装置连接高压冷却泵，高压冷却泵通过1个电磁阀、一个气动阀连接药剂循环系统，药剂回收系统的输入端通过1个电磁阀连接高压冷却泵与废液排出口，药剂回收系统的输出端连接药剂循环系统。
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