[发明专利]具有药剂回收系统的光刻胶涂布机在审
| 申请号： | 201611016640.7 | 申请日： | 2016-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN106406031A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 徐飞;彭建中;李亚明;高广修;吴昌龙;张良 | 申请（专利权）人： | 南京中电熊猫液晶材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210033 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 药剂 回收 系统 光刻 胶涂布机 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京中电熊猫液晶材料科技有限公司，未经南京中电熊猫液晶材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201611016640.7/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
