[发明专利]具有阴离子隔膜的惰性阳极电镀处理器和补充器有效
| 申请号： | 201610994437.0 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN106929900B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 保罗·R·麦克休;格雷戈里·J·威尔逊 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C25D17/00 | 分类号： | C25D17/00;C25D21/14;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电镀系统包括具有容器的处理器，所述容器具有分别含有阴极电解液和阳极电解液的第一或上隔室和第二或下隔室，在所述隔室之间存在处理器阴离子隔膜。惰性阳极安置在所述第二隔室中。补充器经由阴极电解液返回线和供应线和阳极电解液返回线和供应线与所述容器连接，从而使阴极电解液和阳极电解液流通经过由补充器阴离子隔膜分离的所述补充器中的隔室。所述补充器通过移动来自块体金属源的离子将金属离子添加到所述阴极电解液中，并且将来自所述阳极电解液的阴离子移动穿过所述阴离子隔膜并且到所述阴极电解液中。所述阴极电解液和所述阳极电解液中的金属离子和阴离子的浓度保持平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 阴离子 隔膜 惰性 阳极 电镀 处理器 补充 | ||
【主权项】：
暂无信息
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