[发明专利]一种微结构表面检测方法

摘要

一种微结构表面检测方法，其特征在于，包括以下步骤S1图像采集；S2匹配顺序S3灰度匹配；S4设置匹配步长；S5敏感区域设置；S6标记和输出。通过本方法可以针对微结构表面几何特征尺寸、间距和表面缺陷进行快速的检测。

主权项

一种微结构表面检测方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：图像采集，采集对象包括检测模板和待检测微结构，所述检测模板和待检测微结构处于相同的环境下进行采集；S2：匹配顺序，将采集到的检测模板和待检测微结构图像输入到计算机中，按照从所述待检测微结构上从左至右从上到下的顺序进行递进搜索，在待检测微结构上截取与所述检测模板相同尺寸的待测子图进行匹配；S3：灰度匹配，通过计算模板图片和待测子图上对应位置每个像素的灰度差值，再通过归一化交叉算法计算得到相关度值，得到每一个待测子图和检测模板的灰度匹配值；S4：设置匹配步长，设定灰度匹配值的最大阀值和最小阀值，当灰度匹配值靠近最小阀值时，递进搜索的步长为10像素；当灰度匹配值靠近最大阀值时，递进搜索的步长为1个像素；S5：敏感区域设置，设置敏感区域匹配度阀值，当灰度匹配值大于设定的敏感区域匹配度阀值时，在此位置规划一包含待测子图的区域设置为敏感区域，并在设定的敏感区域内进行灰度匹配，得到最大匹配值，将得到的最大匹配值设为该待测子图的真实匹配值，当完成一个待测子图的匹配后，移动检测模块至与已完成匹配待测子图不重合的下一待测子图；S6：标记和输出，将测定的待测子图的匹配值进行匹配度分级，并对不同的匹配度等级设置不同的颜色加以区分，将待测子图根据其检测的匹配的等级在待测子图边框加以对应的颜色。