[发明专利]相对压力传感器有效
申请号: | 201610971390.6 | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN107014550B | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
发明(设计)人: | 伯恩哈德·韦勒;约翰内斯·塞夫 | 申请(专利权)人: | VEGA格里沙贝两合公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 王新春;曹正建 |
地址: | 德国沃*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: |
本发明提供了一种用于使用具有在基体(3)和测量膜(5)之间设置的至少一个测量电容(C |
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搜索关键词: | 相对 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种用于使用具有在基体(3)和测量膜(5)之间设置的至少一个测量电容(CM)以及在所述基体(3)和所述测量膜(5)之间设置的至少一个基准电容(CR)的相对压力传感器来测定输出值(A)的方法,所述输出值等于压力(P)或是与所述压力(P)成比例的值,其中所述输出值(A)的测定至少包括以下步骤:‑测定所述测量电容(CM);‑测定所述基准电容(CR);‑将所述基准电容(CR)的第一函数FZ(CR)的值与所述测量电容(CM)进行比较;和‑将以下值作为所述输出值发出:对于CM=FZ(CR),发出A=FQ(CM,CR);对于CM>FZ(CR),发出A=FCR(CR);对于CM<FZ(CR),发出A=FCM(CM)。
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