[发明专利]相对压力传感器有效
| 申请号： | 201610971390.6 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN107014550B | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 伯恩哈德·韦勒;约翰内斯·塞夫 | 申请（专利权）人： | VEGA格里沙贝两合公司 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 王新春;曹正建 |
| 地址： | 德国沃*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 相对 压力传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于使用具有在基体(3)和测量膜(5)之间设置的至少一个测量电容CM以及在所述基体(3)和所述测量膜(5)之间设置的至少一个基准电容CR的相对压力传感器来测定输出值A的方法，所述输出值等于压力(P)或是与所述压力(P)成比例的值，其中所述输出值A的测定至少包括以下步骤：
-测定所述测量电容CM；
-测定所述基准电容CR；
-将所述基准电容CR的第一函数FZ(CR)的值与所述测量电容CM进行比较；和
-将以下值作为所述输出值发出：
对于CM＝FZ(CR)，发出A＝FQ(CM,CR)；
对于CMFZ(CR)，发出A＝FCR(CR)；
对于CMFZ(CR)，发出A＝FCM(CM)，
其中所述FQ(CM,CR)是用于根据所述测量电容CM和所述基准电容CR来测定所述输出值A的第二函数，所述FCR(CR)是用于根据所述基准电容CR来测定所述输出值A的第三函数，以及所述FCM(CM)是用于根据所述测量电容CM来测定所述输出值A的第四函数。
2.根据权利要求1所述的方法，
其中对所述输出值A额外地进行温度和/或湿度的补偿。
3.根据前述权利要求中任一项所述的方法，
其中第一函数考虑到取决于装置的精度的偏差(Z)。
4.根据权利要求3所述的方法，
其中所述偏差(Z)为+/-1％。
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