[发明专利]区分碳纳米管类型的方法有效
申请号: | 201610967644.7 | 申请日: | 2016-10-31 |
公开(公告)号: | CN108020573B | 公开(公告)日: | 2019-12-17 |
发明(设计)人: | 李东琦;魏洋;姜开利;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01N23/22 | 分类号: | G01N23/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100084 北京市海淀区清*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种区分碳纳米管类型的方法,其包括以下步骤:提供一导电基底,该导电基底上设置一层绝缘层;在所述绝缘层上设置一碳纳米管结构;将碳纳米管结构放置在扫描电镜下,调整扫描电镜的加速电压为5~20千伏,驻留时间为6~20微秒,放大倍数为1万~10万倍,采用扫描电镜对所述碳纳米管结构拍摄照片;获得碳纳米管结构的照片,碳纳米管结构中的碳纳米管分布在照片衬底上,其中,比衬底颜色浅的碳纳米管为金属型碳纳米管,比衬底颜色深的碳纳米管为半导体型碳纳米管。 | ||
搜索关键词: | 区分 纳米 类型 方法 | ||
【主权项】:
1.一种区分碳纳米管类型的方法,其包括以下步骤:/n提供一导电基底,该导电基底上设置一层绝缘层;/n在所述绝缘层上设置一碳纳米管结构;/n将碳纳米管结构放置在扫描电镜下,调整扫描电镜的加速电压为5-20千伏,驻留时间为6-20微秒,放大倍数为1万-10万倍,采用扫描电镜对所述碳纳米管结构拍摄照片;以及/n获得碳纳米管结构的照片,碳纳米管结构中的碳纳米管分布在照片衬底上,其中,比衬底颜色浅的碳纳米管为金属型碳纳米管,比衬底颜色深的碳纳米管为半导体型碳纳米管。/n
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