[发明专利]区分碳纳米管类型的方法有效

专利信息
申请号: 201610967644.7 申请日: 2016-10-31
公开(公告)号: CN108020573B 公开(公告)日: 2019-12-17
发明(设计)人: 李东琦;魏洋;姜开利;范守善 申请(专利权)人: 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
主分类号: G01N23/22 分类号: G01N23/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 区分 纳米 类型 方法
【说明书】:

一种区分碳纳米管类型的方法,其包括以下步骤:提供一导电基底,该导电基底上设置一层绝缘层;在所述绝缘层上设置一碳纳米管结构;将碳纳米管结构放置在扫描电镜下,调整扫描电镜的加速电压为5~20千伏,驻留时间为6~20微秒,放大倍数为1万~10万倍,采用扫描电镜对所述碳纳米管结构拍摄照片;获得碳纳米管结构的照片,碳纳米管结构中的碳纳米管分布在照片衬底上,其中,比衬底颜色浅的碳纳米管为金属型碳纳米管,比衬底颜色深的碳纳米管为半导体型碳纳米管。

技术领域

发明涉及一种区分碳纳米管类型的方法,尤其设置一种采用扫描电镜对碳纳米管类型进行区分的方法。

背景技术

单壁碳纳米管是一种非常具有研究潜能的纳米材料。基于其纳米级的尺寸以及特殊的结构,单壁碳纳米管具有良好的电学性能、光电性能以及半导体型能。单壁碳纳米管可以分为金属型和半导体型两种类型。由于这两种碳纳米管的应用范围不同,需要对其进行区分。随着碳纳米管的应用越来越广泛,如何区分金属型碳纳米管和半导体型碳纳米管成为研究的热点。

传统的常用的区分金属型碳纳米管和半导体型碳纳米管的方法为拉曼光谱法或者电学测量的方法。但是由于操作复杂导致效率较低。扫描电镜因其具有较高的辨别效率,被越来越多的人用来区分碳纳米管的种类。请参见图1及图2,传统的采用扫描电镜区表征碳纳米管的方法中,为了获得清晰而且对比度高的照片,采用较低的(1千伏左右)的加速电压。采用传统表征方法获得的碳纳米管照片中,碳纳米管的导电性能与照片中的颜色有关,颜色越浅,导电性能越好,但是,碳纳米管的颜色都是比衬底的颜色浅。当照片中同时存在金属型碳纳米管和半导体型碳纳米管时,对于处于中间色的碳纳米管,如灰色的碳纳米管,在判断这些碳纳米管的种类时,常会发生错误。因此,传统的采用扫描电镜区分碳纳米管类型的方法在辨识碳纳米管种类时,准确度不够高,常常会出现误判或者难以判断。而且,由于无论金属型还是半导体型的碳纳米管,在照片中显示的颜色均比衬底颜色浅,当照片中只存在一种类型的碳纳米管时,难以判断照片中的碳纳米管是金属型还是半导体型。

发明内容

有鉴于此,确有必要提供一种碳纳米管区分方法,该碳纳米管区分方法可以克服以上缺点。

一种碳纳米管区分方法,其包括以下步骤:提供一导电基底,该导电基底上设置一层绝缘层;在所述绝缘层上设置一碳纳米管结构;将碳纳米管结构放置在扫描电镜下,调整扫描电镜的加速电压为5~20千伏,驻留时间为6~20微秒,放大倍数为1万~10万倍,采用扫描电镜对所述碳纳米管结构拍摄照片;获得碳纳米管结构的照片,碳纳米管结构中的碳纳米管分布在照片衬底上其中,比衬底颜色浅的碳纳米管为金属型碳纳米管,比衬底颜色深的碳纳米管为半导体型碳纳米管。

相较于现有技术,本发明所提供的区分碳纳米管类型的方法中,扫描电镜的加速电压远高于传统的区分碳纳米管类型的方法中扫描电镜的加速电压,因此获得的碳纳米管结构的照片中,金属型碳纳米管比衬底的颜色浅,半导体型的碳纳米管比衬底的颜色深,因此,可以方便的判断出碳纳米管的种类。

附图说明

图1为现有技术中,采用扫描电镜获得的碳纳米管的照片。

图2为图1的示意图。

图3为本发明实施例提供的碳纳米管类型的判断方法的流程示意图。

图4为本发明实施例提供的碳纳米管类型的判断方法所获得的碳纳米管的照片。

图5为图4的示意图。

主要元件符号说明

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

具体实施方式

以下将结合附图对本发明的提供的碳纳米管类型的判断方法进一步的详细说明。

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