[发明专利]一种氮化硅陶瓷基板的制备方法在审
| 申请号： | 201610963680.6 | 申请日： | 2016-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN106631039A | 公开（公告）日： | 2017-05-10 |
| 发明（设计）人： | 黄荣厦;李文杰;吴有亮;叶顺达;林华泰 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C04B35/65 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所44329 | 代理人： | 杨晓松 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种氮化硅陶瓷基板的制备方法，包括以下步骤将硅粉、氮化硅粉、烧结助剂、分散剂混合，加入溶剂，进行第一次球磨，再加入粘接剂和增塑剂，进行第二次球磨，经真空脱泡后，得到浆料，所述硅粉与氮化硅粉的质量比为(110)～(101)；将浆料进行流延成型，干燥，得到素坯，经真空排胶后得到生坯；将生坯烧结，得到氮化硅陶瓷基板。本发明通过以氮化硅粉和价格低廉的硅粉为主要原料，并采用流延工艺制备，得到成本低、综合性能优异的氮化硅陶瓷基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种氮化硅陶瓷基板的制备方法，包括以下步骤：将硅粉、氮化硅粉、烧结助剂、分散剂混合，加入溶剂，进行第一次球磨，再加入粘接剂和增塑剂，进行第二次球磨，经真空脱泡后，得到浆料，所述硅粉与氮化硅粉的质量比为(1：10)～(10:1)；将浆料经流延成型，干燥，得到素坯，经真空排胶后得到生坯；将生坯烧结，得到氮化硅陶瓷基板。
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